Nízkoteplotní plazmová tryska pro vytváření tenkých vrstev

Nízkoteplotní plazmová tryska pro vytváření tenkých vrstev

Pomocí systému s nízkoteplotní plazmovou tryskou se podařilo připravit dielektrické Ba_xSr_1-xTiO₃ (Ba – baryum, Sr - stroncium, Ti – titan) tenké vrstvy s kontrolovatelným poměrem koncentrací Ba a Sr. Jedná se o materiály s aplikací pro laditelné mikrovlnné obvody pracující v pásmu 10 GHz. Byla měřena struktura vrstev, která potvrdila přítomnost perovskitové fáze (perovskit, CaTiO₃, druh keramických krystalů). Pro určité poměry koncentrací Ba a Sr byla pozorována ve vrstvách ferroelektrická fáze potvrzená detekcí ferroelektrické smyčky za pokojové teploty.